适用恶劣环境的干泵怎么选？
iXH干泵系列在严苛工艺能力、可靠性和更低的拥有成本方面树立了新标准。
· 宽温区间可以优化泵，最大限度地减少冷凝和电镀产生的副产物积累
· iXH Mk2干泵在最恶劣的工艺上提供更长的使用寿命，并能显著提升电力效率
· 创新的泵密封技术可以延长工艺寿命并降低泄漏风险
· 配备XCEDE技术以增强耐腐蚀性。
半导体制造行业用什么真空泵？
iXH系列在半导体领域应用广泛，适用于PECVD（等离子体增强化学气相沉积）、LPCVD（低压化学气相沉积）、ALD（原子层沉积）、刻蚀（Etch）和EPI（外延）等关键工艺。其高抽气速率和耐腐蚀材料能有效处理氢气、氟化物等腐蚀性气体，保障工艺稳定性。
平板显示器（FPD）制造行业用什么真空泵？
在大尺寸TFT-LCD和OLED面板生产中，iXH用于PECVD、刻蚀和传输腔的真空抽排，支持高气体流量需求，提升基板吞吐量，同时降低功耗与设备占地面积。
LED与化合物半导体制造行业用什么真空泵？
针对MOCVD（金属有机化学气相沉积）工艺中大量氢气和氨气的抽排需求，iXH系列具备出色的气体耐受性和粉末处理能力，确保长时间稳定运行。
光伏（太阳能）产业用什么真空泵？
在硅片拉晶、电池片镀膜（如PECVD氮化硅）和组件层压等环节，iXH系列可应对高温、高湿及腐蚀性气体环境，保障真空系统稳定性，是光伏产线中的优选泵型之一。
锂电池制造行业用什么真空泵？
虽然GXS系列更常见于锂电行业，但iXH系列也因其高可靠性和大抽速，在部分高端产线中用于干燥和注液等真空工艺环节。
iXH系列真空泵适应场景有哪些？
半导体制造行业、平板显示器（FPD）制造行业、LED与化合物半导体制造行业、光伏（太阳能）产业、锂电池制造行业。
参数项 | 典型值/范围 | 说明 |
极限真空度 | 低至 3.7×10⁻³ Torr（约 0.0005 mbar） | 可满足大多数高真空制程需求 |
抽气速率 | 4450 m³/h（如iXH4545HT）至 665 m³/h（如iXH610） | 不同型号覆盖从中型到超大腔体的抽气需求 |
工作温度 | 高温运行设计 | 有助于防止腐蚀性气体冷凝，延长泵寿命 |
噪音水平 | 约 70 dB(A) | 在同类大功率泵中属于较低水平，适合洁净厂房环境 |
功耗与节能 | 支持“绿色模式”，空闲时功耗降低高达 95% | 显著降低运营成本，符合绿色制造趋势 |
此外，iXH系列采用模块化设计，支持多泵并联与集成控制，便于在复杂工艺平台中部署。其无油结构避免了油污染风险，适用于对洁净度要求极高的生产环境。
